Vào thời Nguyễn, lệ cấp tiền dưỡng liêm chỉ được đặt ra trong những năm cuối triều Gia Long và lúc đầu chỉ để dành cho quan lại đứng đầu cấp phủ, huyện như tri phủ, tri huyện. Vua Gia Long cho rằng "Phủ, huyện ở gần nhân dân, chức nhỏ nhưng việc nhiều, ngoài bổng chính ra, cấp thêm tiền gạo dưỡng liêm để tỏ đặc cách"[2]. Còn vua Minh Mạng thì nói rằng "tiền dưỡng liêm là để khuyến khích tiết tháo trong sạch"[3]

Sau này, các chức như thự Tri phủ, thự Tri huyện, Tri châu, Đồng tri phủ cũng được cấp loại tiền này. Đặc biệt, vào đầu triều vua Tự Đức còn cấp tiền cho các phái viên thu thuế quan và từ khi có lệ cấp tiền bổng lộc cho quan lại tại kinh thành thì một số chức quan cấp tỉnh cũng được hưởng như Quản đạo, Án sát, Bố chánh, Tuần vũ, Tổng đốc.

Mặc dù cùng là đối tượng được hưởng chế độ tiền dưỡng liêm nhưng tất cả đều là quan lại cấp địa phương. Quan chức thuộc bộ máy trung ương ở kinh thành đều không nằm trong chế độ ưu đãi này.